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Hf(Zr)1+xO2薄膜中过量的Hf(Zr)原子的插层作扩展了晶格并产生了更大的平面和垂直应力,央国更有利于稳定铁电性质。此外,企近期氢通过在Hf(Zr)1+xO2铁电薄膜中嵌入Hf,实现了超低矫顽场(~0.65MV/cm),降低了r相转换势垒和偶极子引起的宽磁畴壁的扩展。
氧化铪(HfO2)基铁电材料由于能够集成到硅电子器件中,目动成为下一代纳米器件的最有前途的候选材料之一。铁电HfO2在纳米厚度下仍然可以表现出强大的电偶极子,首个首条首台首套并且与现代互补金属氧化物半导体(CMOS)技术兼容,使得铁电存储器(FeRAM)的实现成为可能。因此,央国一种与CMOS兼容且稳定的r-HZO基材料不仅可以从根本上解决铪基铁电优化的困境,而且还可以保留HZO材料的优点。
然而,企近期氢铁电Hf(Zr)O2(HZO)的高矫顽场(Ec)导致高工作电压,是限制FeRAM在最先进技术中应用的关键问题。三、目动【核心创新点】作者发现了一种新型铁电材料—菱面体铁电Hf(Zr)1+xO2,该材料具有超低的矫顽场和超高的耐久性。
然而,首个首条首台首套这种t-HZO的单侧极化反转剩余极化强度(Pr)仅为o-HZO的一半。
与o-HZO不同,央国r-HZO的偏振切换不仅取决于晶体偏振,还取决于缺陷迁移等外在因素。我赶紧打电话给物业的同志,企近期氢请他们把它带到物业办公室,在里面安心生产。
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